Η επίστρωση κενού επεκτείνει τη διάρκεια ζωής των αναλώσιμων στη βιομηχανία ημιαγωγών και μειώνει το χρόνο διακοπής λειτουργίας του θαλάμου.Τα υλικά επικάλυψης κυμαίνονται από τηγμένο πυρίτιο έως σταθεροποιημένο με ύττρια ζιρκόνιο και οι επικαλύψεις είναι οπτικά διαυγείς και χημικά αδρανείς.Όλα αυτά σημαίνουν χαμηλότερο κόστος ιδιοκτησίας μέσω του συγχρονισμού των κύκλων συντήρησης.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουν-16-2022